MEMS微波功率傳感器的懸臂梁彎曲模型研究

摘要： 為了研究電容式MEMS微波功率傳感器懸臂梁的非線性運(yùn)動(dòng)，建立了MEMS懸臂梁在空間域上的彎曲特性模型，綜合考慮靜電力、軸向應(yīng)力以及殘余應(yīng)力對(duì)懸臂梁非線性運(yùn)動(dòng)的影響，求解得到動(dòng)力學(xué)微分方程。在此基礎(chǔ)上研究在不同楊氏模量、驅(qū)動(dòng)電壓和殘余應(yīng)力下懸臂梁的彎曲特性，解析得到對(duì)應(yīng)的懸臂梁彎曲特性曲線與軸向應(yīng)力曲線。使用有限元分析軟件ANSYS對(duì)不同驅(qū)動(dòng)電壓下的懸臂梁下拉位移進(jìn)行仿真，并對(duì)仿...