大數(shù)值孔徑寬光譜折反式物鏡設(shè)計(jì)(特邀)

摘要： 為了滿足半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)成像系統(tǒng)高分辨的要求，依據(jù)系統(tǒng)的特點(diǎn)和設(shè)計(jì)指標(biāo)，設(shè)計(jì)了一種近紫外-可見光大數(shù)值孔徑折反式物鏡。在近紫外-可見光波段對(duì)光學(xué)玻璃材料的色散特性進(jìn)行分析，通過(guò)二級(jí)光譜理論計(jì)算，選擇合適的玻璃材料，對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的二級(jí)光譜進(jìn)行了校正。該物鏡使用11片球面透鏡，結(jié)構(gòu)緊湊。設(shè)計(jì)出一套光譜范圍為360～520 nm、數(shù)值孔徑為0.9、焦距為5.65 mm、視場(chǎng)大小為0...