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基于形性控制的大口徑離軸非球面高精度磨削(特邀)

紅外與激光工程 頁數(shù): 10 2023-09-25
摘要: 大口徑離軸非球面光學(xué)元件的應(yīng)用需求呈大幅增長趨勢,如空間/地基大口徑望遠(yuǎn)鏡、航空光電和地面跟蹤瞄準(zhǔn)裝置等。同時,日益增大的元件口徑和越來越短的加工周期使得高效高精度制造工藝成為大口徑離軸非球面光學(xué)元件加工的核心問題。精密磨削作為大口徑離軸非球面元件的材料高效去除工序,磨削面形精度(Peak-Valley, PV)和損傷層深度直接決定了后續(xù)的拋光難度與周期。因此,開展了大口徑離軸...

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