單電機(jī)驅(qū)動(dòng)廣義橢偏儀變角結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

摘要： 針對(duì)目前常見廣義橢偏儀變角結(jié)構(gòu)多采用雙電機(jī)驅(qū)動(dòng)，且存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、變角后光路存在偏離等問題，論文提出一種單電機(jī)驅(qū)動(dòng)廣義橢偏儀新的變角結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)采用固定起偏臂，利用同步齒輪傳動(dòng)單電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式使載物臺(tái)和檢偏臂同步旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)橢偏儀多角度測(cè)量。在傳統(tǒng)臥式結(jié)構(gòu)廣義橢偏儀變角結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，設(shè)置樣品載物臺(tái)和檢偏臂1∶2同步傳動(dòng)，并通過Inventor運(yùn)動(dòng)仿真驗(yàn)證了本結(jié)構(gòu)的可行性。論文提出的單電...