基于凹面光柵的可調(diào)高分辨率單色儀結(jié)構(gòu)設(shè)計及波長重復(fù)性分析

摘要： 凹面光柵兼具成像和色散的能力，采用凹面光柵分光的單色儀能夠很好實現(xiàn)小型化設(shè)計和應(yīng)用到低于200 nm的真空紫外波段。光譜分辨率和波長重復(fù)性是單色儀的重要指標(biāo)，針對單色儀的光譜分辨率，本文將光柵固有分辨率和由狹縫引起的增寬相結(jié)合推導(dǎo)出單色儀的光譜分辨率計算模型，利用自研微動狹縫進(jìn)行實驗驗證，單色儀分辨率符合理論模型，極限分辨率優(yōu)于0.1 nm;針對單色儀的波長重復(fù)性，在單色儀光機(jī)...