基于阻抗模型的不確定環(huán)境下微納操作力跟蹤控制策略研究

摘要： 微機(jī)電系統(tǒng)在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用潛力，以壓電陶瓷為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的壓電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)在微納操作高精度控制領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。在各領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用中，微操系統(tǒng)與環(huán)境的交互一直是研究的熱門方向。由于微尺度下跟蹤力誤差相比宏觀尺度下更不可忽略，因此微操作臂與環(huán)境接觸力的精準(zhǔn)控制是提高微操作準(zhǔn)確度的關(guān)鍵。為此本文提出一種力跟蹤阻抗控制策略，能夠在操作過程中實(shí)現(xiàn)對(duì)接觸力的精確跟蹤?？紤]到阻抗模型...