邊緣驅(qū)動(dòng)雙腔可變形透鏡的設(shè)計(jì)及制備

摘要： 針對基于邊緣驅(qū)動(dòng)的可變形透鏡無法進(jìn)行球差像差的問題，該文提出了一種邊緣驅(qū)動(dòng)雙腔可變形透鏡結(jié)構(gòu)。上腔體壓電圓環(huán)32個(gè)致動(dòng)器，校正除球差外的其余低階像差，主要包括離焦、像散及慧差的校正。下腔體壓電圓環(huán)1個(gè)致動(dòng)器，通過與上腔致動(dòng)器的相互作用，實(shí)現(xiàn)球差的校正。搭建了可變形透鏡性能測試平臺(tái)并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該可變形透鏡能重構(gòu)前4階Zernike像差。