熱振子式雙軸MEMS角速度陀螺敏感機理的研究

摘要： 該文給出了一種熱振子式雙軸微機電系統(tǒng)(MEMS)角速度陀螺的敏感機理。在給出雙軸敏感原理、熱振子的振動模態(tài)和陀螺效應(yīng)的基礎(chǔ)上，對敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度場進行了計算。結(jié)果表明，開機1.8 s后在敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)形成了一個穩(wěn)定的溫度場；當有角速度加載時，熱振子隨著輸入角速度而移動，造成溫度場偏移，兩個正交Y(X)方向上對稱設(shè)置的兩熱線溫差ΔT_Y(ΔT_X)隨著輸入角速度a_x(a_y)的加大...