基于二維黑磷的微型隧穿式加速度計(jì)設(shè)計(jì)

摘要： 針對硅等傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料隨著器件尺寸減小出現(xiàn)的熱效應(yīng)、尺寸效應(yīng)等現(xiàn)象，導(dǎo)致器件性能下降甚至失效，設(shè)計(jì)了一種基于二維黑磷的微型隧穿式加速度傳感器。兩個驅(qū)動電極位于硅襯底上表面和二維黑磷懸臂梁結(jié)構(gòu)下表面，靜電驅(qū)動控制隧道電極間距。為提高加速度計(jì)的靈敏度，在二維黑磷懸臂梁上增加金質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)。通過對敏感結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)分析和靜力學(xué)仿真，完成了其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。經(jīng)閉環(huán)Simulink模型仿真驗(yàn)證了結(jié)...