小型化硅基微腔光子測溫系統(tǒng)
計量學報
頁數(shù): 7 2023-06-09
摘要: 回音壁模式硅基微腔光子溫度傳感可應用于強電磁場、高輻照、強振動等極端環(huán)境下的溫度測量。在前期設計、制備、驗證具有毫開爾文(mK)量級分辨率的硅基微環(huán)光子溫度傳感器的基礎上,研制了一套小型化微腔光子測溫硬件系統(tǒng),包括信號發(fā)生與高速數(shù)模轉換、電壓-電流轉換、激光二極管溫度控制和微弱信號采集與放大等模塊,設計并實現(xiàn)了基于單片機的同步測量方案和光譜測溫算法。在高穩(wěn)定恒溫浴槽內驗證了系統(tǒng)...