平面反射式二維光柵測量系統(tǒng)研究

摘要： 針對超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的二維亞微米級精度同步測量需求，提出并建立了平面反射式二維光柵測量系統(tǒng)，研究了平面反射式二維光柵的平面位移同步測量方法，分析了平面反射式二維光柵測量系統(tǒng)的誤差傳遞模型。通過Vold-Kalman濾波算法，對光柵信號中存在的高次諧波誤差、幅值/相位誤差進(jìn)行實(shí)時(shí)修正和濾除。采用反正切細(xì)分算法和周期測量法對光柵正交脈沖的頻率進(jìn)行測量，實(shí)現(xiàn)對被測目標(biāo)的高分辨率測量和實(shí)時(shí)...