面向制造的光學面形超精密測量技術研究進展

摘要： 超精密測量是光學制造的前提。高精度的光學面形測量仍然遵循零位檢驗原則，計算機生成全息圖（CGH）是自由曲面等復雜面形零位檢驗所必需的補償器。為此，面向制造過程，重點論述CGH補償檢驗原理及其衍射級次的鬼像干擾、投影畸變校正、測量不確定度與絕對檢驗問題，探討CGH補償檢驗的局限與應對方法。針對制造過程中產生的動態(tài)演變局部大誤差的測量難題，論述子孔徑拼接測量、自適應補償干涉測量方法... （共14頁）