面向制造的光學(xué)面形超精密測量技術(shù)研究進(jìn)展

摘要： 超精密測量是光學(xué)制造的前提。高精度的光學(xué)面形測量仍然遵循零位檢驗(yàn)原則，計(jì)算機(jī)生成全息圖（CGH）是自由曲面等復(fù)雜面形零位檢驗(yàn)所必需的補(bǔ)償器。為此，面向制造過程，重點(diǎn)論述CGH補(bǔ)償檢驗(yàn)原理及其衍射級次的鬼像干擾、投影畸變校正、測量不確定度與絕對檢驗(yàn)問題，探討CGH補(bǔ)償檢驗(yàn)的局限與應(yīng)對方法。針對制造過程中產(chǎn)生的動態(tài)演變局部大誤差的測量難題，論述子孔徑拼接測量、自適應(yīng)補(bǔ)償干涉測量方法...