基于條紋傳感的大口徑透鏡檢測(cè)方法

摘要： 為實(shí)現(xiàn)大口徑透鏡組的高質(zhì)量集成，亟需一套透射波前檢測(cè)系統(tǒng)，其可實(shí)現(xiàn)米級(jí)跨度上的微米級(jí)精度檢測(cè)。針對(duì)大口徑透射波前質(zhì)量檢測(cè)難題，采用非窄帶干涉與條紋跟蹤相結(jié)合的方法，獲得元件相對(duì)傾斜以及支撐結(jié)構(gòu)所引入的系統(tǒng)波前變化。首先，基于光纖互聯(lián)架構(gòu)，設(shè)計(jì)了子孔徑分時(shí)復(fù)用測(cè)系統(tǒng)；其次，建立了斜率測(cè)量與最終系統(tǒng)波前的映射關(guān)系，分析了斜率重建過(guò)程對(duì)不同空間頻率波前的影響；最后，利用桌面實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，... （共6頁(yè)）