光柵刻劃刀具彈性支撐機(jī)構(gòu)顫振抑制性能優(yōu)化

摘要： 機(jī)械刻劃是以中階梯光柵為主導(dǎo)的大閃耀角、高衍射級(jí)次光柵的主要加工方法，其大閃耀角特性使中階梯光柵的刻劃加工難度大幅增加。當(dāng)光柵刻劃刀對(duì)刃誤差較大，或刀具非力平衡設(shè)計(jì)時(shí)，刻劃過(guò)程中刀具會(huì)受到較大水平扭矩，易導(dǎo)致刀具顫振現(xiàn)象，從而影響光柵質(zhì)量。為抑制刀具顫振，提高光柵刻劃穩(wěn)定性，針對(duì)光柵刻劃刀彈性支撐機(jī)構(gòu)的顫振抑制性能開展研究，提出了雙層平行彈簧支撐機(jī)構(gòu)。通過(guò)有限元仿真對(duì)比分析了新...