亞納米驅動分辨力的六自由度微動臺

摘要： 微位移工作臺是實現(xiàn)高精度定位的關鍵部件，傳統(tǒng)的工作臺自由度少且分辨力不高，不能滿足應用需求，因此提出一種六自由度高精度微位移工作臺結構方案并驗證了其性能。在整體結構上采用“串并聯(lián)混合驅動”的方式和中空結構，將六個自由度的運動合理地分布在平動層，轉動層和支撐層三層結構中，并設計開發(fā)了工作臺的運動控制系統(tǒng)以及一套可搭配使用的運動控制軟件。實驗結果表明，X,Y,Z軸線位移分別優(yōu)于20... （共8頁）