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可調(diào)諧探針起振系統(tǒng)設(shè)計(jì)

國(guó)外電子測(cè)量技術(shù) 頁(yè)數(shù)： 6 2023-04-15
摘要： 為了兼顧非接觸式原子力顯微鏡(noncontact atomic force microscope, NC-AFM)更高諧振頻率探針的使用需求，并通過提高控制器精度進(jìn)而提高NC-AFM分辨率，提出了一種基于探針-樣品間原子作用力變化的全數(shù)字可調(diào)諧NC-AFM高分辨率探針起振系統(tǒng)。在Simulink環(huán)境下對(duì)探針起振系統(tǒng)的控制部分進(jìn)行了設(shè)計(jì)，通過現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列(FPGA)實(shí)現(xiàn)了鑒...

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