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用于雙聚焦磁質譜儀的離子源電參數(shù)仿真研究

電子器件 頁數(shù): 6 2023-06-20
摘要: 離子源是雙聚焦磁質譜儀的重要組成部分,離子源性能對質譜儀的分辨率、靈敏度有關鍵影響。通過COMSOL仿真,建立了用于雙聚焦磁質譜儀的電子轟擊型離子源的模型,并探究了離子源中電參數(shù)對性能的影響。仿真結果表明,在設計的離子源結構中,電離電壓可在100 V~140 V之間找到一特定值,使電離幾率最高,引出極電壓和加速極電壓均會影響離子的二次聚焦位置,從而影響引出離子束的束寬、角度分散...

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