±16g三質(zhì)量塊三軸MEMS電容式加速度計(jì)的設(shè)計(jì)

摘要： 微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)慣性傳感器(如加速計(jì)、陀螺儀)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、體積小等特點(diǎn)。但MEMS傳感器交叉串?dāng)_仍較大，影響了加速度的測(cè)量。該文設(shè)計(jì)了一個(gè)量程為±16 g的三質(zhì)量塊三軸MEMS電容式加速度計(jì)結(jié)構(gòu)，通過(guò)對(duì)所設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行靜力學(xué)分析和模態(tài)分析，保證加速度計(jì)良好的抗過(guò)載能力。仿真結(jié)果表明，該結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了模態(tài)分離避免了模態(tài)干擾，且交叉靈敏度均...