當(dāng)前位置:首頁(yè) > 實(shí)用文檔 > 儀器儀表工業(yè) > 正文

面向硅微諧振式加速度計(jì)的高精度片上溫度控制器

微納電子技術(shù) 頁(yè)數(shù): 8 2023-04-28
摘要: 為提高硅微諧振式加速度計(jì)在變溫環(huán)境下的精度與穩(wěn)定性,設(shè)計(jì)并制備了一種高精度的片上溫度控制器,它由硅襯底、鉑電阻加熱器、測(cè)溫電阻和溫度控制電路組成。對(duì)溫度控制器的傳熱模型進(jìn)行理論分析,使用COMSOL對(duì)片上溫度控制器進(jìn)行仿真。利用微加工技術(shù)制備溫度控制器,并設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)對(duì)溫控精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性、環(huán)境溫度影響、功耗等指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試。結(jié)果表明,溫度控制器可以在600 s內(nèi)穩(wěn)定在設(shè)定溫度±0....

開(kāi)通會(huì)員,享受整站包年服務(wù)立即開(kāi)通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無(wú)機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無(wú)線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場(chǎng)研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件