基于靜電驅(qū)動的平行平板型微反射鏡的研制
微納電子技術(shù)
頁數(shù): 7 2023-06-14
摘要: 設(shè)計了一種基于靜電驅(qū)動的平行平板型微反射鏡,主要由鏡面、下電極、支柱和玻璃基板構(gòu)成。通過有限元模擬分析得到的仿真結(jié)果表明,帶孔結(jié)構(gòu)的微鏡模型模擬位移量是傳統(tǒng)雙橫梁支撐結(jié)構(gòu)微鏡模型的1.5倍,確定了制備的微鏡裝置結(jié)構(gòu)。在制備過程中只采用了濺射、光刻、機(jī)械切割及反應(yīng)離子刻蝕等工藝,簡化了工藝流程,降低了制備成本。使用反應(yīng)離子刻蝕(RIE)去除犧牲層,為了克服光刻膠OFPR800灰化...