光學(xué)元件磁流變加工駐留時間粒子群優(yōu)化算法
半導(dǎo)體光電
頁數(shù): 5 2023-06-19
摘要: 為實現(xiàn)光學(xué)元件磁流變高精度加工,基于脈沖迭代原理,提出基于粒子群算法的駐留時間優(yōu)化方法。該方法在脈沖迭代法的基礎(chǔ)上引入粒子群算法對整體面型殘差進行優(yōu)化,通過對整體駐留時間的判定,從而實現(xiàn)每個駐留時間點的最優(yōu)選擇,達到高精度面形加工。通過對Φ156 mm光學(xué)表面仿真加工,均方根(RMS)值和峰谷(PV)值從初始的169.164和1 161.69 nm收斂到23.492 5和807...