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高波前擬合精度的緊湊型音圈變形鏡(英文)

中國光學(中英文) 頁數(shù): 12 2023-11-15
摘要: 為了滿足小型化自適應光學系統(tǒng)校正波前畸變的需求,基于系統(tǒng)理論分析設計了一種使用微型音圈驅(qū)動器的變形鏡。使用電磁理論和有限元方法優(yōu)化了微型音圈驅(qū)動器的結(jié)構參數(shù)。從熱變形、共振頻率、耦合系數(shù)等多個參數(shù)的角度對變形鏡進行了優(yōu)化。最后根據(jù)影響函數(shù)完成了波前擬合和殘差計算。優(yōu)化后的69單元緊湊型音圈變形鏡具有大相位調(diào)制量、良好的熱穩(wěn)定性,第一共振頻率為2 220 Hz。對于PV值為1μm... (共12頁)

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