強(qiáng)光元件逆向哈特曼在位檢測裝置誤差敏感因素分析與驗(yàn)證

摘要： 針對基于強(qiáng)光元件高精度面形在位檢測需求，開展了面形測量誤差敏感因素仿真分析，進(jìn)行了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)誤差和溫度誤差對測量結(jié)果的影響研究，分析各類誤差對測量面形誤差的具體影響，設(shè)計(jì)并搭建在位檢測系統(tǒng)，開展系統(tǒng)溫度變化、系統(tǒng)重復(fù)性、系統(tǒng)穩(wěn)定性等測量實(shí)驗(yàn)。研究結(jié)果表明：所建立的逆向哈特曼仿真檢測模型可用于平面、球面、非球面、自由曲面等各類型被測面，各類影響因素對測量結(jié)果的影響主要體現(xiàn)在低頻誤差...