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一種應(yīng)用于大視場形貌測量的寬帶光干涉儀

中國激光 頁數(shù): 9 2023-01-05
摘要: 干涉測試是一種高精度的表面形貌無損測量方法。通常情況下,單色光干涉測試以激光作為光源,采用縮小成像方案測量表面面形。寬帶光干涉測試能夠有效避免單色光干涉測試時(shí)的2π相位模糊問題,常與顯微成像技術(shù)相結(jié)合,測量階躍型結(jié)構(gòu)的表面微觀形貌。當(dāng)階躍型結(jié)構(gòu)樣品的橫向尺寸較大時(shí),寬帶光顯微測試需要采用拼接手段,降低了測量效率。本文提出了一種縮小成像的寬帶光干涉儀,該儀器可用于大尺寸階躍型表面...

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