晶圓金屬表面納米顆粒暗場檢測系統(tǒng)設(shè)計

摘要： 缺陷檢測是基于金屬膜層激發(fā)表面等離子體進(jìn)行超衍射加工前的重要工藝流程，但目前先進(jìn)空白晶圓缺陷檢測設(shè)備光源多位于深紫外波段，恰好在KrF等深紫外光刻膠的感光范圍內(nèi)，檢測帶有該光刻膠的晶圓表面時易導(dǎo)致光刻膠感光而改性失效。針對此問題，筆者提出并設(shè)計了一種基于可見光波段的激光偏振暗場檢測裝置。該裝置利用晶圓表面頂層銀膜的偏振轉(zhuǎn)換特性，通過調(diào)控入射光的偏振態(tài)與入射角，使微粗糙銀膜表面的...