基于質(zhì)量-剛度解耦的微半球諧振陀螺頻差高精度修調(diào)方法

摘要： 微半球諧振陀螺是最具發(fā)展?jié)摿Φ母咝阅芪C(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺之一,其工作時驅(qū)動、檢測模態(tài)頻率需要高度匹配,因此兩個工作模態(tài)間的頻差(頻率裂解)是影響陀螺性能的關(guān)鍵因素.機(jī)械修調(diào)是調(diào)節(jié)頻差的重要手段,其精度決定了模態(tài)匹配程度.通過飛秒激光去除質(zhì)量調(diào)節(jié)模態(tài)頻率是一種高效率、高精度的修調(diào)方法,但當(dāng)諧振結(jié)構(gòu)頻差處于較小值(約100 mHz)時,觀測到線性微質(zhì)量去除難以進(jìn)一步降低頻差....