批產(chǎn)化空間透射鏡頭自動(dòng)裝校系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和驗(yàn)證

摘要： 針對(duì)批產(chǎn)化空間透射鏡頭短周期、高精度和高像質(zhì)一致性的研制需求，研發(fā)了一種自動(dòng)調(diào)整、在線檢測(cè)、自主分析和自動(dòng)校正波像差的自動(dòng)裝校系統(tǒng)。首先，設(shè)計(jì)了透鏡自動(dòng)調(diào)整方式和懸浮膠粘的結(jié)構(gòu)形式，采用坐標(biāo)投影將透鏡失調(diào)量的測(cè)量值轉(zhuǎn)換為調(diào)整裝置的線性調(diào)整量，利用電機(jī)驅(qū)動(dòng)調(diào)整裝置的組合運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)透鏡自動(dòng)調(diào)整。然后，設(shè)計(jì)了鏡頭調(diào)整檢測(cè)集成平臺(tái)和波像差校正模塊，根據(jù)系統(tǒng)波像差測(cè)試結(jié)果自主分析透鏡自由度... （共13頁）