激光差動(dòng)共焦干涉高精度測(cè)量技術(shù)及儀器

摘要： 球面光學(xué)元件的曲率半徑、厚度、折射率、焦距和面形等多參數(shù)的高精度檢測(cè)是光學(xué)元件超精密制造的迫切需求，但現(xiàn)有測(cè)量方法受層析定焦能力、抗散射能力及抗環(huán)境擾動(dòng)能力的制約，難以實(shí)現(xiàn)上述參數(shù)的高精度共基準(zhǔn)測(cè)量。為此，本團(tuán)隊(duì)提出了高層析、高分辨、抗散射和抗干擾的激光差動(dòng)共焦多參數(shù)高精度共基準(zhǔn)測(cè)量方法，并進(jìn)一步與菲索干涉光路融合，實(shí)現(xiàn)了球面元件多參數(shù)的高精度、共基準(zhǔn)、高效率測(cè)量。本文系統(tǒng)地介... （共9頁(yè)）