光學(xué)非球面面形誤差和參數(shù)誤差干涉測量

摘要： 光學(xué)非球面在先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用，其面形和參數(shù)的高精度測量是光學(xué)非球面加工和裝調(diào)的基礎(chǔ)。從面形誤差和參數(shù)誤差兩類被測量的角度，闡述了各種典型的干涉測量方法，重點(diǎn)介紹了筆者在部分補(bǔ)償法、數(shù)字莫爾干涉法中取得的成果，探討了光學(xué)非球面干涉測量的發(fā)展前景和研究方向。 （共12頁）