高數值孔徑寬譜段折反射式物鏡設計

摘要： 針對基因測序、半導體檢測、工業(yè)顯微鏡及生命醫(yī)療等領域對顯微物鏡日益增長的技術需求，成像譜段向著寬譜段深紫外（DUV）方向發(fā)展，目前非浸液式顯微物鏡存在數值孔徑（NA）低、視場小、寬譜段內色差嚴重等問題?；诖?，提出一款折反射式物鏡。所提折反射式物鏡具有寬譜段、高數值孔徑、消色差等優(yōu)點，根據折反射式結構的消色差光學特性，鏡片只采用一種材料就可以校正色差。系統(tǒng)由12片鏡片組成，數值... （共7頁）