高衍射效率低偏振靈敏度全反射浸沒光柵的設(shè)計(jì)

摘要： 浸沒光柵是星載溫室氣體監(jiān)測(cè)成像光譜儀光學(xué)系統(tǒng)中的核心分光元件，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的光譜分辨率和更緊湊的結(jié)構(gòu)尺寸。推導(dǎo)了浸沒光柵的色散率公式，并對(duì)比了采用浸沒光柵和普通平面光柵時(shí)的光譜分辨率。針對(duì)溫室氣體O2-A帶的探測(cè)需求，利用有限元計(jì)算方法開展了浸沒光柵槽形結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，得到了兼有高衍射效率和低偏振靈敏度的全反射型浸沒光柵槽形參數(shù)，并分析了光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)和等效介質(zhì)層的制造公差。設(shè)計(jì)... （共8頁(yè)）