靜電MEMS微鏡諧振扭轉(zhuǎn)角軌跡正弦估計的偏差研究

摘要： 靜電MEMS微鏡扭轉(zhuǎn)角實時獲取通常是通過測量出微鏡的諧振幅值和相位，按照正弦關系去估計任意時刻的扭轉(zhuǎn)角數(shù)值，但關于這種正弦軌跡的假設存在多大的偏差的相關報道很少。使用顯微激光多普勒方法，對C1100型MEMS微鏡在不同驅(qū)動頻率和驅(qū)動電壓下的真實諧振扭轉(zhuǎn)角軌跡進行了測量，并對比了真實軌跡和用正弦曲線擬合軌跡的偏差。結果證明，方波驅(qū)動下的MEMS微鏡，其真實軌跡和正弦擬合軌跡并不完... （共6頁）