柔性電容式壓力傳感器制備及測(cè)量綜合實(shí)驗(yàn)

摘要： 柔性電容式壓力傳感器可用于可穿戴器件和人體生理信號(hào)監(jiān)測(cè)而受到廣泛關(guān)注，為此設(shè)計(jì)了基于柔性電容式壓力傳感器制備與測(cè)量的綜合實(shí)驗(yàn)。制備了基于金(Au)電極，空氣隙和二氧化硅(SiO₂)為介電層，聚二甲基硅氧烷/聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PDMS/PET)為基底的柔性壓力傳感器，并搭建一套可實(shí)現(xiàn)電容式壓力傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量的裝置，采用LabVIEW編程控制其測(cè)量過程，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示和存儲(chǔ)...