基于MEMS熱電堆器件測試的紅外輻射激勵設計

摘要： 在微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system,MEMS)熱電堆器件的測試中,如何給熱電堆器件施加合理的周期性紅外輻射激勵是能否得到正確器件參數的關鍵。在開發(fā)適用于MEMS熱電堆器件的晶圓級測試系統(tǒng)的過程中,提出了一種光學能量傳輸方案,該方案采用MEMS紅外光源JSIR450替代了傳統(tǒng)黑體爐作為紅外輻射激勵源,采用快門替代了光學斬波器對紅外信號進行... （共7頁）