單晶爐 又名：單晶硅生長爐

　　一、單晶爐的構(gòu)成編輯提拉頭：主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成

　　1.副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成

　　2.爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成

　　3.爐筒：包括取光孔

　　4.下爐筒：包括抽真空管道

　　5.底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座

　　6.坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成

　　7.分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等

　　8.氬氣管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測器 高密封性卡套 等部件

　　9.真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等

　　10.電源以及電控柜：電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線

　　二、單晶爐的定義

　　單晶爐是一種在惰性氣體（氮?dú)?、氦氣為主）環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

　　三、購買技術(shù)主要要求

　　1.單晶爐裝料量（單臺(tái)機(jī)產(chǎn)能多少）

　　2. 能拉多長、幾寸的硅棒

　　3. 拉制晶棒的成品率是多少

　　4.拉出硅棒品質(zhì)（少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯(cuò)密度）

　　5.設(shè)備制造工藝控制保證 6自動(dòng)化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等 。

　　四、單晶爐型號(hào)定義

　　單晶爐型號(hào)有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如85爐，是指主爐筒的直徑大小，120、150等型號(hào)是由裝料量來決定的

　　五、單晶爐主要需要控制的方面

　　1.晶體直徑（尺寸）

　　2.溫度（功率控制）

　　3.原料（硅料）

　　4.泄漏率，氬氣質(zhì)量等