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3.4.1 高頻等離子體的發(fā)生方法
等離子體科學(xué)技術(shù)

3.4.1 高頻等離子體的發(fā)生方法圖片（共3張） :
3.4.1 高頻等離子體的發(fā)生方法

        圖3-10是高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖。圖3-10高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖其中高頻振蕩器必須能承受負(fù)載阻抗的大幅度變化。從振蕩器發(fā)出的信號(hào)先經(jīng)過(guò)脈沖放大器放大,再經(jīng)過(guò)功率放大后輸出。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)是為了使負(fù)載阻    （共 806 字）     [閱讀本文] >>

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        圖3-10是高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖。圖3-10高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖其中高頻振蕩器必須能承受負(fù)載阻抗的大幅度變化。從振蕩器發(fā)出的信號(hào)先經(jīng)過(guò)脈沖放大器放大,再經(jīng)過(guò)功率放大后輸出。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)是為了使負(fù)載阻    （共 806 字）     [閱讀本文] >>

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