海量資源,盡在掌握
 2.3.2節(jié)討論了區(qū)熔再結(jié)晶ZMR工藝中亞晶界缺陷的形成機理。在ZMR工藝步驟后,高摻雜的Si薄膜需要通過外延生長,形成正常摻雜的較厚Si薄膜,才能制備異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池。所以,ZMR籽晶層的缺陷與外延生長薄膜的關(guān)系非常重 (共 1011 字) [閱讀本文] >>